Двулучевой FIB-SEM прибор высокого разрешения позволяет решать разнообразные задачи лабораторной пробоподготовки.
Основные преимущества:
- Высокое разрешение в режиме SEM
- Большая камера образца (подходит для работы с Si пластинами до 150 мм)
- Богатая система детектирования электронов, дающая комплексную информация об образце.
- Возможность установки Аргонового травления
- Высокая степень автоматизации процесса подготовки образца
- Идеален для высокоразрешающей SEM-EDX 3D реконструкции образцов
